大尺寸、高导热AlN陶瓷基板关键制造技术的开发与应用

      由合肥圣达电子科技公司承担完成的安徽省科技攻关项目“大尺寸、高导热AlN陶瓷基板关键制造技术的开发与应用”先后获得了2015年度合肥市科学技术进步二等奖和2016年安徽省科学技术三等奖。

      本项目突破了AlN流延配方、流延成型技术，（低温）烧结技术等关键技术攻关，研制出大尺寸、高导热AlN流延生瓷片和陶瓷基板产品，关键技术指标达到国际先进水平，形成了具有自主知识产权的大尺寸、高导热AlN陶瓷生瓷片以及基板的关键制造技术，申请发明专利3项(已授权1项)，形成企业标准1项。项目开发的AlN产品已经广泛用于混合微电子器件、大功率LED、光通讯器件、微波T/R组件等领域。